Chemistry, Physics and Technology of Surface, 2012, 3 (3), 352-355.

Study on of Thermophysical Properties of Crystalline Silicon



O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk

Abstract


The thermophysical properties of Si (c) have been studied theoretically. Using the Comsol Multiphysics software package, mathematical modeling of temperature distribution in the Si (c) plate is carried out. It has been shown that femtosecond laser pulses can efficiently warm samples of crystalline silicon. The near-surface region with thickness of 5 microns is heated most efficiently.

Full Text:

PDF (Українська)

References


Semchuk, O.Yu., Semioshko, V.N., Grechko, L.G. et al. Applied Surface Science. 2006. 252. 4759.

Ахманов С.А., Емельянов В.И., Коротеев Н.И. и др. Воздействие мощного лазерного излучения на поверхность полупроводников и металлов: нелинейно-оптические эффекты и нелинейно-оптическая диагностика // Успехи физ. наук. – 1985. – Т. 147, № 4. – С. 675–745.

Schaaf, P. Prog. Mater. Sci. 2002. 47. 1.

Pereira, A., Cross, A., Delaporte, P.et al. Appl. Phys. A. 2004. 79. 1433.

Лисовченко В.Н., Конакова З.В., Коноплев Б.Г. и др. Уменьшение поглощения в струк-турах кварц/Si , кварц/SiO2 и SiC/Si/SiO2 под влиянием лазерной обработки // Физика и техника полупроводников. – 2010. – Т. 44, № 3. – С. 326–329.

Заботнов С.Е., Ежок А.А., Головань Л.А. и др. Формирование наночастиц на поверх-ности кремния под действием фемто-секундных лазерных импульсов // Физика и техника полупроводников. – 2007. – Т. 41, № 8. – С. 1017–1020.

Байдуллаева А., Власенко А.И., Кузан Л.Ф. и др. Образование наноразмерных струк-тур на поверхности кристаллов p-CdTe при однократном воздействии импульс-ного излучения рубинового лазера // Физика и техника полупроводников. – 2005. – Т. 39, № 9. – С. 1064–1067.

Шур В.Я., Кузнецов Д.К., Лобов А.И. и др. Поверхностные самоподобные монодо-менные структуры, индуцированные лазер-ным излучением в ниобате лития // Физика и техника полупроводников. – 2008. – Т. 50, № 4. – С. 689–695.

Жигалина О.М., Хмеленин Д.Н., Воро-тилов К.А и др. Электронная микро-скопия структуры композиций пленок титаната бария–стронция на подложках Pt-Ti-SiO2-Si после лазерного отжига // Физика и техника полупроводников. – 2009. – Т. 51, № 7. – С. 1398–1399.

Лыков А.В. Теория теплопроводности. – Москва: Высшая школа, 1967. – 600 с.




Copyright (©) 2012 O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.